Semiconductor manufacturing handbook. (หนังสือ, 2005) [WorldCat.org]
ข้ามไปที่เนือ้หา
WorldCat.org แบบใหม่กำลังจะมีให้ใช้เร็วๆ นี้
Semiconductor manufacturing handbook.
กำลังตรวจสอบ…

Semiconductor manufacturing handbook.

ผู้แต่ง: Hwaiyu Geng
สำนักพิมพ์: New York : McGraw-Hill, 2005.
ชุด: McGraw-Hill handbooks
ครั้งที่พิมพ์/รูปแบบ:   พิมพ์หนังสือ : ภาษาอังกฤษดูครั้งที่พิมพ์และรูปแบบ
สรุป:

Provides engineers with the principles, applications, and solutions needed to design and manage semiconductor manufacturing operations. This volume includes specific manufacturing reference data  อ่านมากขึ้น…

หัวเรื่อง
เพิ่มเติมเช่นนี้

ค้นหาสำเนาในห้องสมุด

&AllPage.SpinnerRetrieving; ค้นหาห้องสมุดที่มีรายการนี้

รายละเอียด

ประเภทเอกสาร หนังสือ
ผู้แต่งทั้งหมด : ผู้แต่งร่วม Hwaiyu Geng
ISBN: 0071445595 9780071445597
OCLC Number: 840392883
คำอธิบาย: .. cm.
สารบัญ: PART 1: Semiconductor Fundamentals and Basic MaterialsBOARD OF REVIEWERSCONTRIBUTORSPREFACEACKNOWLEDGMENTSChapter 1: How Semiconductor Chips Are Made - Hwaiyu Geng, Lin ZhouChapter 2: IC Design - Ilsun ParkChapter 3: Silicon Substrates for Semiconductor Manufacturing - K.V. RaviChapter 4: Copper, Low-k Dielectrics, and Their Reliability - Hazara S. Rathore, Kaushik ChandaChapter 5: Fundamentals-Silicide Formation on Si - L.P. Ren, King N. TuChapter 6: Plasma Process Control - David J. CoumouChapter 7: Vacuum Technology - Peter BiltoftChapter 8: Photomask - Charles HowardPART 2: Wafer ProcessingChapter 9: Microlithography - Chris A. MackChapter 10: Ion Implantation and Rapid Thermal Processing - Michael GrafChapter 11: Wet Etching - Peng ZhangChapter 12: Plasma Etching - Shouliang LaiChapter 13: Physical Vapor Deposition - Florian SolzbacherChapter 14: Chemical Vapor Deposition - Edward J. McInerneyChapter 15: Epitaxy - Jamal Ramdani, Giovanni VaccariChapter 16: ECD Fundamentals - Tom Ritzdorf, John KlocksChapter 17: Chemical Mechanical Planarization - Timothy S. DyerChapter 18: Wet Cleaning - Andrew MachamerPart 3: Final ManufacturingChapter 19: Inspection, Measurement, and Test - Donald W. BlairChapter 20: Grinding, Stress Relief, and Dicing - Kazuhisa Arai, Yoshikazu Kobayashi, Hideaki OtaniChapter 21: Packaging - Dietrich Tonnies, Michael TopperPart 4: Nanotechnology, MEMS, and FPDChapter 22: Nanotechnology and Nanomanufacturing - Zhong L. WangChapter 23: Fundamentals of Microelectromechanical Systems - Michael A. HuffChapter 24: Flat-Panel Display Technology and Manufacturing - David N. LiuPart 5: Gases and ChemicalsChapter 25: Specialty Gas and CDA Systems - Wayne D. CurcieChapter 26: Waste Gas Abatement Systems - Joseph D. SweeneyChapter 27: PFC Abatement - James C. CoxChapter 28: Chemical and Slurry Handling Systems - Kristin Cavicchi, Dan BarsnessChapter 29: Fluid Handling Components for High Purity Liquid Chemicals and Slurries - Charles K. GouldChapter 30: Fundamentals of Ultrapure Water - David J. AlbrechtPart 6: Fab Yield, Operations, and FacilitiesChapter 31: Yield Management - Bo Li, Wayne CarrikerChapter 32: Automated Material Handling System - Clint HarrisChapter 33: CD Metrology and CD-SEM - Ram Peltinov, Mina MenakerChapter 34: Six Sigma - Bruno Scibilia, Yoan DupretChapter 35: Advanced Process Control - Robert H. McCaffertyChapter 36: Environmental, Health, and Safety (EHS) Considerations in Semiconductor Fabrication Facilities - Brett J. Davis, Steven R. TrammellChapter 37: Plan, Design, and Construction of a FAB - Industrial Design and ConstructionChapter 38: Cleanroom Design and Construction - Richard V. Pavlotsky, Stephen C. BeckChapter 39: Micro-Vibration and Noise Design - Michael Gandreau, Hal AmickChapter 40: ESD Controls in Cleanroom Environments - Larry LevitChapter 41: Airborne Molecular Contamination - Chris MullerChapter 42: Particle Monitoring in Semiconductor Manufacturing - Steven Kochevar, Jerry GromalaChapter 43: Wastewater Neutralization Systems - Richard E. PinkowskiAPPENDIXINDEX
ชื่อชุด: McGraw-Hill handbooks

รีวิว

กำลังค้นคืน รีวิว GoodReads…
ค้นคืน DOGObooks บทวิจารณ์

รายการคล้ายกัน

ยืนยันคำขอนี้

คุณอาจะร้องขอรายการนี้แล้. โปรดเลือก ตกลง ถ้าคุณต้องการดำเนินการคำขอนี้ต่อไป.

ปิดหน้าต่าง

กรุณาลงชื่อเข้าสู่ระบบ WorldCat 

ยังไม่มีบัญชีผู้ใช้? คุณสามารถสร้างได้อย่างง่ายดาย สร้างบัญชีผู้ใช้ฟรี.