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1. Semiconductor manufacturing handbook 저자: Hwaiyu Geng
저자: Hwaiyu Geng; Lin Zhou; Ilsun Park; K V Ravi; Hazara S Rathore; Kaushik Chanda; L P Ren; King N Tu; David J Coumou; Peter Biltoft; Charles Howard; Chris A Mack; Michael Graf; Peng Zhang; Shouliang Lai; Florian Solzbacher; Edward J McInerney; Jamal Ramdani; Giovanni Vaccari; Tom Ritzdorf; John Klocke; Timothy S Dyer; Andrew Machamer; Donald W Blair; Kazuhisa Arai; Yoshikazu Kobayashi; Hideaki Otani; Dietrich Tönnies; Michael Töpper; Zhong L Wang; Michael A Huff; David N Liu; Wayne D Curcie; Joseph D Sweeney; James C Cox; Kristin Cavicchi; Dan Barsness; Charles K Gould; David J Albrecht; Bo Li; Wayne Carriker; Clint Haris; Ram Peltinov; Mina Menaker; Bruno Scibilia; Yoan Dupret Altis; Robert H McCafferty; Brett J Davis; Steven R Trammell; Richard V Pavlotsky; Stephen C Beck; Michael Gendreau; Hal Amick; Larry Levit; Chris Muller; Steven Kochevar; Jerry Gromala; Richard E Pinkowski; IDC Corporation.;
  전자도서 : 문서
영어
2000
 
New York : McGraw-Hill
 
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